CMPスラリーの主要な用途

厳格な精密加工プロセスにこそふさわしい、汚染低減を実現します。 原料の管理、クリーンルームでの分散プロセス、設備の工夫と維持管理により、半導体が最も嫌う重金属は勿論、殺菌などの生物不純物混入を測定不可能なまでに防いでいます。

▼半導体銅配線形成用（CMPスラリー）